辽宁气体高纯氮化学气相淀积时的载气

辽宁气体高纯氮概述说明、性质、作用及用途： 纯度大于99.999％。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃，空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99％以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

当前纯氮气主要应用于油田注氮、石油化工、合成纤维、合成氨、浮法玻璃、轧钢和电子工业等领域。

油田注氮的制氮装置规模最大，国外最大已有31万Nm³/h,氮气产品纯度要求氧气含量低于10ppm，产品压力一般在300∽400bar，生产过程允许有短暂中断，要求有少量液氮储备；石油化工、合成纤维、合成氨、浮法玻璃、轧钢等的制氮装置规模一般是从几千到几万不等，产品纯度为要求含氧2∽100ppm,产品压力一般在1.35∽31bar，有些设备需要有备用液氮，要求保证不间断的产品供应。

电子工业的制氮装置规模较小，一般是从几百到几千，但是产品纯度要求最高，通常对氧含量要求低于1ppm,同时对产品中CO和H2的含量有较高要求。产品压力在3∽10bar,要求产品供应不间断，有备用液氮。

制氮行业经过了几十年的蓬勃发展，不管从规模以及产品要求上都上了一个台阶，针对不同规格的产品，目前国内外已经开发出了与其相适应的制氮流程。

产品氮气在5到8bar之间时有两种方案：

第一种方案：返流膨胀流程，膨胀机增压端增压产品氮气或者正流空气。

第二种方案：正流膨胀流程，膨胀机增压端增压产品氮气或者正流空气，外加产品氮压机压缩，压力高时这种流程优势大。

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